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退火气氛对TiO2薄膜结构及性能的影响

上传者: 2020-07-16 17:18:13上传 PDF文件 473.46KB 热度 29次
退火气氛对TiO2薄膜结构及性能的影响,张平,孙翔宇,阻变存储器是一类新型非易失性存储器,具有功耗低、读写快、保持特性好、可小型化等特点。本文主要研究了采用脉冲激光沉积(PLD)
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