RFMEMS的原理及应用.pdf

在过去二十年中，无线个人通信设备市场已经大幅扩展，微波和毫米波领域的研究重点已转向消费者应用，而不是传统的国防相关产品。因此，生产量增加了歧管，而这些系统所需的动力处理能力大大降低。这些发展为增加微机电系统的应用铺平了道路（MEMS）在许多当前和未来的射频（RF），微波和毫米波系统中。这种设备被称为RF MEMS，尽管它包括全新的设备;它们是通过微机械操作，还是通过微纤维加工制造，或两者兼而有之。幸运的是，MEMS系统的处理技术多年来得到了显着改善，我们越来越倾向于微波和毫米波系统，甚至光学系统中的应用。除了具有批量生产和小型化的优点外，还可以提高系统效率。