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铜沾污对定向凝固多晶硅电学性能的影响

上传者: 2020-07-16 10:33:49上传 PDF文件 563.14KB 热度 17次
铜沾污对定向凝固多晶硅电学性能的影响,李娇,陈秀华,通过对定向凝固提纯的多晶硅中引入铜杂质,然后使用四探针测试仪和微波光电导衰减测试仪,分别对多晶硅在不同条件下铜沾污前后的
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