铜与aSiCOF介质相互作用的俄歇电子能谱表征 上传者：tom44400 2020-06-12 14:48:44上传 PDF文件 885KB 热度 39次 铜与a-SiCOF介质相互作用的俄歇电子能谱表征，张卫，陈玮，低介电常数材料取代传统的氧化硅作为互连介质可以降低集成电路的互连延迟，非晶硅碳氧氟(a-SiCOF)是一种新型的超低介电常数材料。本 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
