Si含量对TiSixNy超硬涂层结构和性能的影响 上传者：qw77643 2020-05-31 16:28:40上传 PDF文件 416.24KB 热度 28次 Si含量对TiSixNy超硬涂层结构和性能的影响，陆永浩，李明星，本文采用四靶（2个Ti靶和2个Si靶）非平衡磁控溅射沉积工艺，在氮氩混合气氛和500℃基体温度下，通过调节硅靶溅射电流在单晶Si（100）� 下载地址 用户评论 更多下载
