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Apodized Grating Coupler Using Fullyetched Nanostructures

上传者: 2020-05-25 22:48:59上传 PDF文件 1.03MB 热度 18次
使用全刻蚀纳米结构的切趾光栅耦合器,武华,李冲,本文演示了作为单模光纤和绝缘体上硅光子集成回路之间接口的二维切趾光栅耦合器。光栅耦合器的光栅槽由全刻蚀纳米结构构成,可以
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