非检测端电极对FBAR粘度传感器的性能的影响规律探究 上传者：ekg70207d 2020-05-25 09:10:52上传 PDF文件 484.8KB 热度 30次 非检测端电极对FBAR粘度传感器的性能的影响规律探究，刘海强，秦利锋，本文研究了非检测端电极对FBAR粘度传感器的灵敏度和品质因数Q的影响。首先对非检测端电极层/AlN压电层/检测端电极层/待测液体的四层F 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
