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静电悬浮转子微陀螺的建模仿真研究

上传者: 2020-05-22 16:40:31上传 PDF文件 527.71KB 热度 18次
静电悬浮转子微陀螺的建模仿真研究,崔峰,覃贞妮,静电悬浮转子微陀螺利用静电力悬浮并高速旋转微转子,是一种有望实现导航级精度的MEMS陀螺。通过对静电微陀螺微系统的建模仿真,�
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