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用于SNOM的GaAs微探尖的选择剥离

上传者: 2020-05-22 15:40:14上传 PDF文件 567.41KB 热度 30次
用于SNOM的GaAs微探尖的选择剥离,梁秀萍,朱锦霞,介绍一种用于扫描近场光学显微镜(SNOM)传感头的GaAs微探尖的选择剥离技术。通过对GaAs微探尖/AlGaAs层/GaAs衬底结构中SiO2掩膜窗口大小�
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