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近场头盘间距光学测量方法研究

上传者: 2020-05-15 06:54:36上传 PDF文件 329.42KB 热度 23次
近场头盘间距光学测量方法研究,王亮,李玉和,光学测量技术是深亚微米飞行高度测量的主要方法。介绍了几种光学飞高检测技术,例如强度干涉法、偏振干涉法、激光多普勒法、全内
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