近场头盘间距光学测量方法研究 上传者：qq_17477 2020-05-15 06:54:36上传 PDF文件 329.42KB 热度 53次 近场头盘间距光学测量方法研究，王亮，李玉和，光学测量技术是深亚微米飞行高度测量的主要方法。介绍了几种光学飞高检测技术，例如强度干涉法、偏振干涉法、激光多普勒法、全内 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
