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旋转涂覆法(SOD)制备硅基多孔低k薄膜材料的研究进展

上传者: 2020-05-14 23:56:23上传 PDF文件 509.43KB 热度 14次
旋转涂覆法(SOD)制备硅基多孔低k薄膜材料的研究进展,殷桂琴,宁兆元,近年来,低介电常数材料在IC工业中日益受到人们广泛关注。为了降低信号传输延迟、串扰以及由于介电损失而导致的功耗增加,要求采�
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