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Mg掺杂对氧化镓薄膜ε相的稳定性及禁带宽度的改善

上传者: 2020-05-02 12:43:38上传 PDF文件 778.29KB 热度 14次
Mg掺杂对氧化镓薄膜ε相的稳定性及禁带宽度的改善,毕晓瑜,黄元琪,本文利用激光分子束外延(L-MBE)技术,通过多次循环沉积及高温层间相互扩散的方法,在蓝宝石衬底上制备了一系列不同浓度的Mg掺杂Ga2O3�
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