论文研究精度可靠的二维OPC测试图形生成新方法 .pdf 上传者：weixin_39882200 2020-04-26 14:14:25上传 PDF文件 639.17KB 热度 14次 精度可靠的二维OPC测试图形生成新方法，夏国帅，黄其煜，在65纳米及以下的节点制程中，面对k1因子值较低的光刻条件，尽管已使用最先进的光刻机台来曝光也会面临着解析度到达极限的问题。�� 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论 weixin_39882200 资源：31108 粉丝：3 +关注 上传资源 免责说明 本站只是提供一个交换下载平台，下载的内容为本站的会员网络搜集上传分享交流使用,有完整的也有可能只有一分部,相关内容的使用请自行研究,主要是提供下载学习交流使用,一般不免费提供其它各种相关服务! 本站内容泄及的知识面非常广,请自行学习掌握,尽量自已动脑动手解决问题,实践是提高本领的途径,下载内容不代表本站的观点或立场!如本站不慎侵犯你的权益请联系我们,我们将马上处理撤下所有相关内容！联系邮箱：server@dude6.com
