子孔径拼接干涉检测光学平面方法的研究
子孔径拼接干涉检测光学平面方法的研究，田义，李洪玉，建立了合适的拼接模型，讨论了子孔径拼接中的去倾斜模型，充分利用Matlab软件强大的矩阵运算能力和与Zygo干涉仪匹配的MetroPro软件处�
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