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论文研究Atomistic Simulation on Ion Implantation and Annealing.pdf

上传者: 2020-01-10 02:02:36上传 PDF文件 282.93KB 热度 19次
离子注入和退火的原子模型模拟,于民,黄如,本文开发了一个可靠高效的分子动力学低能离子注入模拟软件。软件应用了最新的物理模型和一些高效的算法。B,P,As注入的模拟结果��
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