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论文研究厚膜SOI材料顶层硅过渡区减薄方法 .pdf

上传者: 2019-09-09 10:36:33上传 PDF文件 413.4KB 热度 27次
厚膜SOI材料顶层硅过渡区减薄方法,王文宇,郑健,本文介绍了厚膜绝缘层上硅材料(SOI)的一种新型制备工艺方法,并分析该制备方法中外延层过渡区问题,并提出利用传统化学机械抛光
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