Computational lithography
计算光刻方面最权威的电子书，2010年版'ComputationalLithography'byXuMa,GonzaloR.Arce
下载地址
用户评论
在计算光刻方面是一本很不错的书籍，值得研究！
比较好的一本书，不过需要时间研究。
A good book that I have searched for a long time. It must be very helpful.