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论文研究PMMA介质层IZOTFT的制备和研究 .pdf

上传者: 2019-09-07 00:05:32上传 PDF文件 416.21KB 热度 25次
PMMA介质层IZO-TFT的制备和研究,冯佳涵,张群,试制了氧化物沟道层和有机介质层构成的混合型薄膜晶体管(TFT)。由直流反应磁控溅射法室温沉积氧化铟锌(IZO)沟道层,浸渍提拉法
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