1064nm和355nm激光扫描刻蚀覆铜板工艺及质量研究

为了研究不同纳秒激光工艺参量(波长、能量密度、扫描速率)以及铜层厚度对激光刻蚀覆铜板质量(包括刻蚀深度及加工面粗糙度)的影响，采用50W的1064nm红外光纤激光器和10W的355nm紫外固体激光器对覆铜板进行了对比刻蚀实验。通过分析红外、紫外激光刻蚀覆铜板材料的作用机理并对比实验结果得知，采用1064nm红外光纤激光作为激光光源时，设置合适的刻蚀参量，能在完全去除铜箔层的条件下，最大限度地保证环氧树脂基底的完整性;而采用355nm的紫外激光作为激光光源时，因环氧树脂材料对紫外波段激光的高吸收率，以及紫外激光对有机材料的光化学作用，基底材料的损伤难以避免，此外，红外光纤激光具有较高