北京大学体硅MEMS工艺

Name: 北京大学体硅MEMS工艺
Rating: 4.5 (52 reviews)
Author: shuai6249

上传者：shuai6249 2019-05-28 05:11:48上传 PDF文件 115.72KB 热度 52次

为了使表面牺牲层MEMS设计标准化，利用ICCAD根据进行版图设计规则的自动检查，制定出该设计规则，并在CADENCE中建立了相应的工艺库几DRC检验规则

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: 码姐姐匿名网友 2019-05-28 05:11:48

还不错，需要仔细研究才能明白

北京大学体硅MEMS工艺

为了使表面牺牲层MEMS设计标准化，利用ICCAD根据进行版图设计规则的自动检查，制定出该设计规则，...

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