工艺及器件仿真工具SILVACO-TCAD

Name: 工艺及器件仿真工具SILVACO-TCAD
Rating: 4.5 (59 reviews)
Author: a45242

上传者：a45242 2019-05-15 01:10:06上传 DOC文件 2.74MB 热度 59次

介绍如何使用SILVACO公司的TCAD工具ATHENA来进行工艺仿真以及ATLAS来进行器件仿真。假定读者已经熟悉了硅器件及电路的制造工艺以及MOSFET和BJT的基本概念。

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工艺及器件仿真工具SILVACO_TCAD

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