Acoustic Wave Sensors - 声波传感器的经典资料。从理论、设计到应用均有涉及。

CMUT电容式微超声传感器基础，很好的基础材料，值得保存，是我众多材料比较经典的基础资料。超声超声图...

很好的微机电系统教材，仅用于参考，勿作商用。