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压电陶瓷驱动器具有位移分辨率高、体积小、响应快、输出力大、不发热等优点,但其固有的迟滞、蠕变和非线性...
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压电陶瓷驱动器具有位移分辨率高、体积小、响应快、输出力大、不发热等优点,但其固有的迟滞、蠕变和非线性...