薄膜沉积技术可以分为化学气相沉积CVD和物理气相沉积PVD 薄膜沉积技术可以分为化学气相沉积(CVD)和物理气相沉积(PVD)。对于CVD工艺,这包括原子层沉积... 大小：1.47MB | 2021-01-07 14:30:05
