碳化硅SiC器件制造工艺中的干法刻蚀技术 摘要:简述了在SiC材料半导体器件制造工艺中,对SiC材料采用干法刻蚀工艺的必要性.总结了近年来Si... 大小：215.44KB | 2020-12-30 18:07:09
