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介绍了多晶硅发射极双台面SiGe/Si异质结双极晶体管制作工艺流程。通过对LPCVD 在n型Si衬底...
大小:370.05KB | 2020-08-06 22:00:33 -
SiGe/Si HBT是一种以Si为衬底的新型器件,与传统的双极型晶体管相比,SiGe/Si HBT...
大小:186.94KB | 2020-07-18 12:15:23
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