热处理对MOCVD外延生长GaN薄膜性能的影响 GaN是一种宽禁带直接带隙半导体材料,在电子器件领域有着广泛的应用。但由于缺 乏合适的衬底材料,限制... 大小:2.46MB | 2020-07-17 00:39:55