自问世以来的半个多世纪, 微电子和集成电路技术可谓发展神速, 其中光刻 技术的发展起到了重要推动作用...

金属络合染料是一类重要的染料分支,而偶氮金属络合染料在整个金属络合染料中当视为最重要的一类,是在偶氮...

投影式光刻机是微电子产业中极大规模集成电路的加工设备。照明系统和投影物镜系统是投影式光刻机的重要组成...