准分子激光直接刻蚀单晶硅研究

Name: 准分子激光直接刻蚀单晶硅研究
Rating: 4.5 (45 reviews)
Author: ah_a

上传者：ah_a 2020-07-17 20:31:32上传 PDF文件 172.3KB 热度 45次

介绍了准分子激光刻蚀单晶硅的流程和表征，很有用的

下载地址

用户评论

更多下载

下载地址

立即下载

用户评论

准分子激光直接刻蚀单晶硅研究

介绍了准分子激光刻蚀单晶硅的流程和表征，很有用的

大小：172KB | 2020-07-17 20:31:32
准分子激光角膜手术研究

叙述了角膜手术对激光特性的要求,对准分子激光放切术(RK)和准分子激光消融术(PRK)进行了实验研究...

大小：1.95MB | 2021-02-27 03:26:04
飞秒与纳秒激光刻蚀单晶硅对比研究

采用输出功率8 W的355 nm NdYVO4纳秒激光器和3 W的1030 nm飞秒激光器对0.4 ...

大小：3.08MB | 2021-02-07 22:36:10
光波导端面的准分子激光刻蚀技术研究

面向光印刷互连背板的应用需求,提出基于准分子激光消融原理对光波导的刻蚀技术进行研究,在背板上任意位置...

大小：2.39MB | 2021-04-07 00:22:10
准分子激光器

准分子激光器对于紫外区来讲目前仍仅限于稀有气体(氦、氪、氩)和稀有气体,卤化物。其中较实用的有稀有气...

大小：1.18MB | 2021-02-08 12:47:51
准分子激光的光束特性研究

本文采用二维CCD列阵检测准分子激光的光束特性。研究了长时间运转下,光束的均匀性和光束重心的漂移。并...

大小：8.58MB | 2021-02-09 14:37:58
用XeF准分子激光为凸版直接制版

本文叙述用准分子激光束将原始文字转移到感光性树脂板上的直接凸版印刷工艺。光敏塑料树脂板经300~40...

大小：2.94MB | 2021-02-10 04:36:03
KrCl XeCl准分子激光双振荡研究

采用Kr:Xe:HCl:He混合气体在同一个放电脉冲中获得了KrCl、XeCl激光双振荡,KrCl激...

大小：1.24MB | 2021-02-08 01:18:47
准分子激光技术发展

介绍了准分子的基本能级结构、光谱特性及产生激光的激励方式。简要回顾了准分子激光及实用准分子器件的发展...

大小：7.45MB | 2021-02-23 12:32:47
准分子激光器现况

“准分子激光器”这个术语,并不是表示单一的器件,而是表征一组具有相似输出特性的器件。这些激光器都能在...

大小：3.67MB | 2021-02-10 04:36:04
准分子激光器续

金属蒸汽-稀有气体准分子体系之所以如此引人入胜,和它的许多属性有关。除了它们具有作为高功率激光器合适...

大小：5.64MB | 2021-02-23 19:43:23
氩准分子激光器

半导体的光加工和核聚变等离子体中轻元素的密度测定等,对近于100 nm波长区高功率真空紫外激光器的要...

大小：1.73MB | 2021-02-10 04:36:04
准分子激光光解卤化汞的研究

本文报导用193nm ArF和222nm KrCl准分子激光分别光解HgBr2和HgI2产生Hg原子...

大小：4.88MB | 2021-02-23 23:23:55
XeCl准分子激光器寿命的研究

XeCI准分子激光器的寿命主要取决于HCI消耗的情况。实验结果表明,在环氧树脂筒的激光器室中,补充适...

大小：3.96MB | 2021-02-23 19:43:40
XeCl准分子激光角膜损伤阈值的研究

Ocular dose reponse relationship was experimentall...

大小：954KB | 2021-02-25 21:54:44
ArF准分子激光器的调频研究

The experimental research on spectral tuning of Ar...

大小：842KB | 2021-02-24 23:04:04